真空器件的密封有两种情况，一种是密封件把充满液态介质的某一容器与外部真空空间分割开。在这种情况下，密封件的主要作用是防止液态介质漏入真空空间。另一种情况是密封件把真空内腔与外腔分割开，它的作用是保持要求的真空度。这种情况比较复杂，因为周围气体介质即使稍微漏入真空腔内，也会使其真空度降低。如果漏入了腐蚀性气体，真空设备就可能损坏。在很多情况下，真空度和真空空间的洁净，对真空条件下进行的各种工艺过程的质量有决定性的影响。 真空器件所使用的机械密封在结构上并无特殊之处。对于上述的第一种情况，通常是采用气密性好的金属波纹管型单端面机械密封。第二种情况则要用双端面机械密封，若使用单端面密封，势必存在密封端面不能获得润滑的问题。